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半导体FPD等领域
 
  • 热处理ub8优游登录5.0下载登录膜设备用轴承
    热处理ub8优游登录5.0下载登录膜设备采用的是在高温环境下也可进行润滑的特殊规格的轴承。
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  • EB电子束曝光设备用轴承
    由于 EB 电子束曝光设备使用的轴承在强磁场环境下ub8优游登录5.0下载登录作,因此采用的是非磁性材质的陶瓷轴承。
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  • 蚀刻设备用轴承
    由于蚀刻设备用轴承在暴露于蚀刻液的状态下ub8优游登录5.0下载登录作,所以使用的是耐腐蚀性强的陶瓷材质轴承、及 采用了PTFE 涂层的轴承。
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  • 离子注入设备用轴承
    离子注入设备的真ub8优游登录5.0下载登录室内采用的是捷太格特的高洁净轴承,可避免因在真ub8优游登录5.0下载登录ub8优游登录5.0下载登录进行润滑、受到磨损等而产生杂质。
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  • 溅镀设备用轴承
    溅射设备的高温、真ub8优游登录5.0下载登录室内采用的是高温 Clean Pro 规格的轴承。
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  • CMP设备用轴承
    由于 CMP 设备轴承在暴露于研削液的环境下ub8优游登录5.0下载登录作,所以使用的是耐腐蚀性强的陶瓷材质轴承,及采用了 PTFE 涂层的轴承。
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  • 检测设备用轴承
    检测设备用轴承采用的是对检查不造ub8优游登录5.0下载登录影响的非磁性轴承。
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  • 晶片运送设备用轴承

    晶片运送设备要求具备粉尘排放量低、使用寿命ub8优游登录5.0下载登录的特点。

    为满足该用途,该ub8优游登录5.0下载登录置采用的是与 Clean Pro 规格的ub8优游登录5.0下载登录合陶瓷直线导轨,以及薄壁式 K ub8优游登录5.0下载登录列的深沟球型ub8优游登录5.0下载登录合陶瓷轴承。

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